Semicnductor Multi-channel Chiller
FLTZ -45℃~100℃- Precisão da temperatura±0.1℃
- RefrigeranteR404A
- Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
- Gama de potência380V 3kW~17kW
Temperature control in semiconductor production testing processes
O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas
Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end
Utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura na produção de semicondutores e nos processos de ensaio, com um aquecimento até 40 ° C utilizando um método de aquecimento por gás quente de compressor
Detalhes de configuração
Modelo | FLTZ-203W-2T | |
Condutas | Canal 1 | Canal 2 |
Gama de temperaturas | -20℃~+90℃ | -20℃~~90℃ |
Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
Capacidade de arrefecimento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
Capacidade de aquecimento | 2kW | 2kW |
Heat transfer medium flow | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
Heat transfer medium interface | ZG3/4 | ZG3/4 |
Temperatura ambiente | 10~35℃ | 10~35℃ |
Humidade ambiente | 30~70% | 30~70% |
Temperatura da água de arrefecimento | 15~20℃ | 15~20℃ |
Cooling water flow | 20L/min | 20L/min |
Disjuntor | 30A | |
Controlo da temperatura do processo | Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm | |
Peso | 400 kg | |
Dimensões | 500*900*1600 |
Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
Condutas | Canal 1 | Canal 2 | Canal 3 |
Gama de temperaturas | -20℃~+50℃ | +30℃~+100℃ | +30℃~+40℃ |
Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
Capacidade de arrefecimento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
Capacidade de aquecimento | 2kW | 6kW | Perda de calor da bomba |
Heat transfer medium flow | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
Heat transfer medium interface | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
Temperatura ambiente | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ |
Humidade ambiente | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
Temperatura da água de arrefecimento | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
Cooling water flow | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
Disjuntor | 75A | ||
Controlo da temperatura do processo | Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm | ||
Peso | 600 kg | ||
Dimensões | 600*1000*1700 |
Modelo | FLTZ-203W/2T Dual system | FLTZ-305W/2T Dual system | FLTZ-406W/2T Dual system | |||
Gama de temperaturas | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃ | |||||
Flow control and pressure | 15~45l/min 6bar max | |||||
Aquecimento | 2,5kw | 2,5kw | 2,5kw | 2,5kw | 3.5kw | 3.5kw |
Capacidade de arrefecimento | 3KW at-15℃ | 3KW at-15℃ | 5KW at-15℃ | 5KW at-15℃ | 2.5KW at -35℃ | 2.5KW at -35℃ |
Volume de líquido em circulação interna | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
Volume do depósito de expansão | 15L | 25L | 25L | |||
Heat transfer medium | Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc. | |||||
Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
Heat transfer medium interface | ZG3/4 | |||||
Interface da água de arrefecimento | ZG3/4 | |||||
Água de arrefecimento | 50L/min a20℃ | 600L/min a20℃ | 50L/min a20℃ | |||
Alimentação eléctrica | Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V | |||||
Controlo da temperatura do processo | Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm |
Modelo | Sistema duplo FLTZ-203W/2T | Sistema duplo FLTZ-305W/2T | Sistema duplo FLTZ-406W/2T | |||
Gama de temperaturas | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃ | |||||
Caudal do meio condutor de calor | 15~45l/min 6bar max | |||||
Capacidade de aquecimento | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
Capacidade de arrefecimento | 3kW a-15℃ | 3kW a-15℃ | 5kW a-15℃ | 5kW a-15℃ | 2.5kW a -35℃ | 2.5kW a -35℃ |
Volume do fluido da circulação interna | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
Volume do depósito de expansão | 15L | 25L | 25L | |||
Meio condutor de calor | Líquido fluorado, anticongelante, óleo de silicone condutor térmico, etc. | |||||
Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
Interface do meio condutor de calor | ZG3/4 | |||||
Interface da água de arrefecimento | ZG3/4 | |||||
Interface da água de arrefecimento | 50L/min a20℃ | 600L/min a20℃ | 50L/min a20℃ | |||
Potência | Trifásico 220V/Trifásico 400V/Trifásico 460V | |||||
Controlo da temperatura do processo | A temperatura alvo remota pode ser controlada através da combinação do modelo autocriado livre de autocontrolo. algorithm and cascade algorithm |
Descrições
Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.
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